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2022年及以后
深圳大学电子束曝光机意向公开
2024-09-24 15:48来源：
【打印】
深圳大学电子束曝光机意向公开
采购单位:
深圳大学
项目名称:
电子束曝光机
预算金额（元）:
4,800,000.000
采购品目:
光学式分析仪器
采购需求概况:
电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用，使胶由长（短）链变成断（长）链，实现曝光，相比于光刻机具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究
预计采购时间:
2024-9
联系人:
陈老师
联系电话:
13252981106
备注:
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准