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深圳大学双光子灰度光刻机意向公开

2025-03-25 14:46来源: 【打印】
深圳大学双光子灰度光刻机意向公开
采购单位: 深圳大学
项目名称: 双光子灰度光刻机
预算金额(元): 6,800,000.000
采购品目: 激光仪器
采购需求概况: 双光子灰度光刻机具有高精度三维加工能力、灰度光刻技术及多材料兼容性,为前沿科学研究提供了重要支撑。覆盖光学、材料、生物医学、电子、仿生学等多个领域,用于加工横向线宽≤100 nm,表面粗糙度≤5 nm的三维结构,并且具有自动对准及倾斜拼接技术,满足半导体、光学、超材料等领域对复杂微纳器件的需求。
预计采购时间: 2025-4
联系人: 王老师
联系电话: 0755-86573795
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准