采购单位: | 深圳大学 |
项目名称: | 双光子灰度光刻机 |
预算金额(元): | 6,800,000.000 |
采购品目: | 激光仪器 |
采购需求概况: | 双光子灰度光刻机具有高精度三维加工能力、灰度光刻技术及多材料兼容性,为前沿科学研究提供了重要支撑。覆盖光学、材料、生物医学、电子、仿生学等多个领域,用于加工横向线宽≤100 nm,表面粗糙度≤5 nm的三维结构,并且具有自动对准及倾斜拼接技术,满足半导体、光学、超材料等领域对复杂微纳器件的需求。 |
预计采购时间: | 2025-4 |
联系人: | 王老师 |
联系电话: | 0755-86573795 |
备注: | 无 |