| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 金属有机化合物气相沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 4,980,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置金属有机化合物气相沉积仪1套 1.近耦合喷淋式反应腔，GaAs/InP材料生长系统； 2.晶圆尺寸：6英寸向下兼容； 3.反应室腔体压力：5.0mbar至1000mbar范围可调，控压精度±1%25以内，真空漏率＜1×10？？ mbar·L/s； 4.旋转系统转速：0至200 RPM范围可调，旋转控制精度±0.5 RPM以内； 5.控温系统：电阻丝加热，三区独立控温，三区根据K值可自动调整，最高加热温度不低于1250℃； 6.配置MO源气体管线6路，预留空间6路； 7.氢化物、载气及压力平衡气路5路，预留空间3路； 8.原位监测系统：配备950nm、633nm、405nm三波段集成原位监测系统,实时监测并显示外延生长时的温度、反射曲线、生长速率以及温度Mapping 等功能； 9.配备安全监测与报警系统、可编程的逻辑控制器，并配置工控机及数据库，24V电，继电器，IO/DO模块，人机界面，软件系统，菜单编辑及数据分析管理等。 |
| 联系人: | 张敏 |
| 联系电话: | 0755-23256568 |
| 预计采购时间: | 2026-09 |
| 备注: | 无 |