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2022年及以后
深圳医学科学院高分辨率关键尺寸扫描电子显微镜意向公开
2026-09-08 11:05来源：
【打印】
深圳医学科学院高分辨率关键尺寸扫描电子显微镜意向公开
采购单位:
深圳医学科学院
项目名称:
高分辨率关键尺寸扫描电子显微镜
预算金额（元）:
9,800,000.000
采购品目:
集成电路参数测量仪
采购需求概况:
为满足对半导体芯片生产中对图形的线宽，间距，接触孔尺寸的纳米甚至亚纳米级的精准测量。0755-66650028*8382
联系人:
张老师
联系电话:
0755-66650028
预计采购时间:
2026-09
备注:
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准