信息来源:
信息提供日期：2026-06-23
文件编码：0722-26FE6436SZF-0
一、项目基本情况
原公告的项目编号：SZDL2026001052
原公告的采购项目名称：新兴交叉大楼（一期）项目（设备部分）溅射台等设备采购项目
首次公告日期：2026年06月18日
二、更正信息
更正事项：招标文件
更正内容：
对招标文件第一册第二章技术部分如下内容进行更正：
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名称 |
招标技术要求 |
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溅射台 |
▲4.3 腔体漏率要求≤5x10-9 Torr·L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-9 Torr·L/s；(投标文件中提供同类型设备厂内检测报告扫描件，原件备查）。 |
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感应耦合式等离子化学气相沉积仪 |
▲3.2 腔体漏率要求≤5x10-8 Torr·L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-8 Torr·L/s(投标文件中提供同类型设备厂内检测报告扫描件，原件备查)。 |
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反应处理系统 |
▲4.2 腔体漏率要求≤5x10-8 Torr·L/s；腔体带气路漏率要求≤8x10-8 Torr·L/s；投标文件中需提供同类型设备厂内检测报告。 |
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其他技术 要求 |
★3. 感应耦合式等离子体沉积仪和反应处理系统包括：感应耦合式等离子化学气相沉积仪主机1套，反应处理系统2台，机械泵2台，射频电源2台，分子泵2台，循环冷却系统2套，自动控压蝶阀2套，防腐蚀工艺规2套，8路气路。 |
招标文件涉及内容均做相应修改，其他内容不变。
三、其他事项
各投标人及时做好投标文件并使用最新加密规则加密后上传投标文件，未使用最新加密规则加密将导致投标文件无法解密，作投标无效处理。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京大学深圳研究生院
地 址：深圳市南山区桃源街道深圳大学城北大校区
联系方式：翁老师 0755-26033149
2.采购代理机构信息
名 称：中国远东国际招标有限公司
地 址：深圳市福田区上步南路1001号锦峰大厦22楼
联系方式：0755-83004312转140、164
3.项目联系方式
项目联系人：程竞霄、王升辉
电 话：0755-83004312转140、164
中国远东国际招标有限公司
2026年06月23日