合同公告

一、合同编号：CSHT-SZDL2025001085-A-2025-1

二、合同名称：等离子增强原子层沉积设备合同

三、项目编号（ 或招标编号、政府采购计划编号、采购计划备案文号等），如有：SZDL2025001085

四、项目名称：等离子增强原子层沉积设备

五、合同主体

采购人（甲方）：哈尔滨工业大学（深圳）

地址：深圳市南山区大学城

供应商（乙方）：青岛思锐智能科技股份有限公司

地址：青岛黄岛区青岛集成电路先进装备园1期

六、合同主要信息

主要标的名称：等离子增强原子层沉积设备

规格型号（或服务要求）：Beneq/TFS 200

主要标的数量：1

主要标的单价：4050000

合同金额：4050000.00

履约期限、地点等简要信息：2025年08月15日至2026年02月14日，深圳

采购方式：公开招标

七、合同签订日期：2025-08-15

八、合同公告日期：2025-08-19

九、其他补充事宜：本项目无其它补充事宜