| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 自动玻璃通孔专用溅镀机 |
| 预算金额（元）: | 7,400,000.000 |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 该溅镀机专用于玻璃通孔（TGV）的金属化工艺，需满足高深宽比（≥10:1）通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层（Interposer）及玻璃基板（510mm×515mm）的溅镀工艺，兼容8英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠（如Ti/Cu、Cr/Cu、Ta/Cu等）的连续溅镀，确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率（≥80%）。 |
| 预计采购时间: | 2025-5 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 17671047241 |
| 备注: | 无 |